X射線管發(fā)出X射線照射樣品，樣品中所含的原子則向外發(fā)射原子*的X射線。這種X射線被稱為熒光X射線，各元素具有特定的波長（能量）。因此送ü觳釾射線的波長就能夠進行定性分析。另外，熒光X射線的強度與濃度具有函數(shù)關(guān)系，檢測每個元素X射線特征波長的X射線量就能進行定量分析。
X射線熒光光譜儀能夠?qū)Χ喾N材料進行元素分析，包括固體、液體和疏松粉末。X射線熒光光譜儀專為滿足要求嚴苛的流程控制和研發(fā)應(yīng)用需求而設(shè)計，其高品質(zhì)的設(shè)計和創(chuàng)新功能居于市場優(yōu)勢地位，可對從鈹?shù)斤训榷喾N元素進行精度范圍從百萬分之一以下到百分之一的分析。
X射線熒光光譜儀有多種，以能量色散和波長色散為主。
1．能量色散熒光光譜儀
能量色散型儀器的優(yōu)點是不破壞被測的材料或產(chǎn)品，也不需要專業(yè)人員操作，缺點是對鉻和溴是總量測定（一般不影響使用，因為很多情況可以判定，如測鉻總量超標(biāo)，常可知是不是六價鉻超標(biāo)，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標(biāo)就不合格）。
2．波長色散熒光光譜儀
此種儀器的靈敏度比能量色散的高一個數(shù)量級，也就是說，所測的數(shù)據(jù)并不存在“灰色地域”，不存在測定后還需拿到檢測機構(gòu)復(fù)檢。但儀器的價格比能量色散的貴很多，特別是進口的都在百萬元以上，所以沒有外國公司建議用。儀器操作和能量色散一樣，不需要專業(yè)人員。
波長型優(yōu)點是用在原材料廠上，其測定的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確，給生產(chǎn)廠以確信的合格材料。
缺點是，波長法需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準(zhǔn)確。所以，用在材料廠適合。如不制成樣本（非破壞），會因材料表面形狀不同而產(chǎn)生不同誤差。
3．能量色散和波長色散原理上的區(qū)別：
能量色散法是將X射線激發(fā)被測所有元素的熒光簡單過濾后，全部進到檢測器中，利用儀器和軟件來分出其中的光譜。如測的為元素周期表中相鄰的兩個元素，會因光譜重疊而產(chǎn)生測量誤差。硬件決定了之后，儀器水平的高低，往往就在這里。
波長法是因其激發(fā)出的熒光足夠強，進到儀器中用來分析的光譜是單一元素（“過濾”了不需測的元素），不含其它元素的光譜，所以測量數(shù)據(jù)很準(zhǔn)確。
