鍍層厚度測(cè)量已成為加工工業(yè)、表面工程質(zhì)量檢測(cè)的重要環(huán)節(jié),是產(chǎn)品達(dá)到質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的必要手段。對(duì)鍍層厚度有了明確要求。
隨著技術(shù)的日益進(jìn)步,特別是近年來(lái)引入微機(jī)技術(shù)后,采用X射線(xiàn)鍍層測(cè)厚儀 向微型、智能、多功能、高精度、實(shí)用化的方向進(jìn)了一步。測(cè)量的分辨率已達(dá)0.1微米,精度可達(dá)到1%,有了大幅度的提高。它適用范圍廣,量程寬、操作簡(jiǎn)便且價(jià)低,是工業(yè)和科研使用廣泛的測(cè)厚儀器。
鍍層測(cè)厚儀是將X射線(xiàn)照射在樣品上,通過(guò)從樣品上反射出來(lái)的第二次X射線(xiàn)的強(qiáng)度來(lái)。測(cè)量鍍層等金屬薄膜的厚度,因?yàn)闆](méi)有接觸到樣品且照射在樣品上的X射線(xiàn)只有45-75W左右,所以不會(huì)對(duì)樣品造成損壞。同時(shí),測(cè)量的也可以在10秒到幾分鐘內(nèi)完成。
測(cè)量方法
鍍層厚度的測(cè)量方法主要有:楔切法,光截法,電解法,厚度差測(cè)量法,稱(chēng)重法,X射線(xiàn)熒光法,β射線(xiàn)反向散射法,電容法、磁性測(cè)量法及渦流測(cè)量法等等。這些方法中前五種是有損檢測(cè),測(cè)量手段繁瑣,速度慢,多適用于抽樣檢驗(yàn)。
X射線(xiàn)和β射線(xiàn)法是無(wú)接觸無(wú)損測(cè)量,測(cè)量范圍較小,X射線(xiàn)法可測(cè)極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線(xiàn)法適合鍍層和底材原子序號(hào)大于3的鍍層測(cè)量。電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測(cè)厚時(shí)采用。
原理:
1、原理:X射線(xiàn)照射樣品,經(jīng)過(guò)鍍層界面,射線(xiàn)返回的信號(hào)發(fā)生突變,根據(jù)理論上同材質(zhì)無(wú)限厚樣品反饋回強(qiáng)度的關(guān)系推斷鍍層的厚度。理論上兩層中含有同一元素測(cè)試很困難(信號(hào)分不開(kāi))。
2、XRF鍍層測(cè)厚儀:
俗稱(chēng)X射線(xiàn)熒光測(cè)厚儀、鍍層測(cè)厚儀、膜厚儀、膜厚測(cè)試儀、金鎳厚測(cè)試儀、電鍍膜厚儀等。
功能:精密測(cè)量金屬電鍍層的厚度。
應(yīng)用范圍:測(cè)量鍍層,涂層,薄膜,液體的厚度或組成,測(cè)量范圍從22(Ti)到92(U)。